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空気清浄技術

クリーンルームの4原則

  1. 微粒子を持ち込まない
  2. 微粒子を排除する
  3. 微粒子を発生させない
  4. 微粒子を堆積させない

使用エアフィルタ

ULPAフィルタ(Ultra Low Penetration Air Filter)

定格風量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.99995%以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が100Pa以下の性能
集塵効果を高めるためにフィルター繊維密度を高くし、空気抵抗を抑えるためにHEPAフィルタより薄く作られている。
より高度な清浄空間を要求される半導体、原子力施設、医療設備などのメインフィルタとして適している。

HEPAフィルタ(High Efficiency Particulate Air Filter)

定格風量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.99%以上の粒子捕集率
初期圧力損失が160Pa以下の性能
高いクリーン度を要求されるような半導体や液晶、医薬品や食品などに適している。

ケミカルフィルタ

空気中にごくわずかに流れ出る分子状化学汚染物質(酸性物質、塩基性物質、凝縮性有機物質、ドーパンドなど)を駆除する為に開発された高性能クリーンフィルター
超精密機器製造工場では、高いクラスのクリーン度が求められる為、現在では必要不可欠な存在です。
マイクロ単位以下の分子レベルの空気汚染に対しても有効に働きます。

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