超精密空調

超精密工作機械、半導体、ＦＰＤ、電子工業、医薬品産業機器等から生産される、製品の品質、歩留まりに生産現場の作業環境が大きく影響されることが解っており、製品の性能向上に精密空気調和が必須内容と成っています。

ENVIROMENTAL　CHAMBER　A

　

性能仕様

循環Air(CH1/Room1)

風量　　:50㎥/min
設定温度:19℃～23℃
設定湿度:40%～60%(RH)
温度精度:設定温度±0.01℃
湿度精度:設定湿度±1.0%(RH)

循環Air(CH2/Room2)

風量　　:30㎥/min
設定温度:19℃～23℃
設定湿度:40%～60%(RH)
温度精度:設定温度±0.01℃
湿度精度:設定湿度±1.0%(RH)

ENVIROMENTAL　CHAMBER　B

性能仕様

CH1/Room1～CH8/Room8

循環Air(CH1/Room1)

風量　　:10㎥/min
設定温度:22.5℃～23.5℃
温度精度:設定温度±0.005℃

循環Air(CH2/Room2)

風量　　:10㎥/min
設定温度:22.5℃～23.5℃
温度精度:設定温度±0.005℃