主要設備及び、計測器
本社工場
敷地面積17,803㎡（5,394坪） 延床面積 A棟 9,070㎡（2,750坪）、B棟 1,388㎡（419坪）
検査用恒温・恒湿クリーンルーム
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本社工場 |
検査用恒温・恒湿 クリーンルーム |
A棟 1F |
3室 |
クラス100以下 |
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1室 |
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| 2室 | ||||
| A棟 3F | 6室 |
温湿度記録計1／1000℃ 12台
パーティクルカウンター 8台
周波数変換機 6台
ガスリークテスター 10台
耐電圧試験 5台
A棟
B棟
半導体製造アプリケーション例
- プラズマアッシング、エッチング装置用チラー
- CVD,PVD装置用チラー
- 露光機用サーマルチャンバー
- EB描画装置用シールドチャンバー
- 搬送系用サーマルチャンバー
- コータ＆デベロッパ用給気ユニット
- 各種温調用ヒートエクスチェンジャー
Fine Engineering
- アプリケーションに応じた仕様決定
- 省スペース、省エネ、省コストの追求
- タイムリーなサポート
- 半導体製造、液晶製造アプリケーションにおける経験と実績をベースとした確かな技術力
太陽光パネル（発電容量50kW）
