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主要設備及び、計測器

本社工場

敷地面積17,803(5,394坪)  延床面積 9,070㎡(2,750坪)

検査用恒温・恒湿クリーンルーム

本社工場

検査用恒温・恒湿

クリーンルーム

1F

3室

クラス100以下
(無負荷時)

1

2室
3F 3室

温湿度記録計1/1000℃ 12台

パーティクルカウンター 8台

周波数変換機 6台

ガスリークテスター 10台

耐電圧試験 5台

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半導体製造アプリケーション例

  • プラズマアッシング、エッチング装置用チラー
  • CVD,PVD装置用チラー
  • 露光機用サーマルチャンバー
  • EB描画装置用シールドチャンバー
  • 搬送系用サーマルチャンバー
  • コータ&デベロッパ用給気ユニット
  • 各種温調用ヒートエクスチェンジャー

Fine Engineering

  • アプリケーションに応じた仕様決定
  • 省スペース、省エネ、省コストの追求
  • タイムリーなサポート
  • 半導体製造、液晶製造アプリケーションにおける経験と実績をベースとした確かな技術力

太陽光パネル(発電容量50Kw)

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