循環型
チャンバーと空調機が
一体化した環境制御装置
- 資源の再利用が可能で、エネルギーコストの低減。
- 温度・湿度の精密な制御がしやすい。
- 安定した環境下で高品質な製品の製造をサポート。
半導体市場の成長
半導体市場はAI技術や車載用途の需要拡大により成長を続け、2024年には約94兆円（6,269億ドル）、2030年には約150兆円（1兆ドル）に達すると予測されています。この拡大に伴い、「環境制御装置」の重要性もますます高まると考えられます。
半導体の製造に欠かせない
ラスコの技術
こうした需要の高まりを受け、RASCOは半導体製造を支える製品の提供を通じて、お客様のビジネスに貢献しています。当社の高精度な環境制御装置は、半導体製造現場で求められる品質と効率性を両立しています。
環境制御装置の種類
Type of Products
ワンパス型
チャンバーと空調機を
分離した設置設計
- 工場のレイアウトに応じた自由な設置が可能。
- 常に新鮮な空気を使用することで、異物混入リスクを抑制。
- 装置発熱負荷を考えずに、外気温度要因のみで設計可能。
主要製造装置
Main Products
チャンバーChamber
半導体の製造工程では、超精密な温調空調やゴミの少ない極めてクリーンな環境が必要になります。そのため、ロボットや加工装置を「チャンバー」と呼ばれる容器内に丸ごと封入し、その内部を真空にしたり、温度や気流を精密調整したりすることで理想的な作業空間を作り出します。
空調機Air Conditioners
半導体の製造工程では、チャンバー内の環境を最適に保つために、空調機が不可欠です。空調機は、チャンバーに供給される空気の温度、湿度、気流、さらには清浄度を精密に制御する役割を担っています。
ラスコの空調機は、循環型やワンパス型といった方式に応じた柔軟な設計が可能で、多様なニーズに対応します。
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