設備詳細及び計測器

設備詳細及び計測器　Equipment Details and Measuring Instruments

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本社工場

敷地面積 17,803㎡（5,394坪）
延床面積 A棟 9,070㎡（2,750坪）
B棟 1,388㎡（419坪）
検査用恒温・
恒湿クリーンルーム		 検査用恒温・恒湿クリーンルーム
クラス5（無負荷時）　14室
クラス6　　　　　　　1室
クラス8　　　　　　　5室
温湿度記録計1／1000℃ 12台
パーティクルカウンター 8台
周波数変換機 6台
ガスリークテスター 10台
耐電圧試験 5台

A棟

B棟

半導体製造アプリケーション例

  • プラズマアッシング、エッチング装置用チラー
  • CVD,PVD装置用チラー
  • 露光機用サーマルチャンバー
  • EB描画装置用シールドチャンバー
  • 搬送系用サーマルチャンバー
  • コータ＆デベロッパ用給気ユニット
  • 各種温調用ヒートエクスチェンジャー

太陽光パネル

現在本社工場の屋上と平地に太陽光パネルを設置しており、現在年間約70,000Kwhの発電をし、2024年9月からは新社屋(B棟)にも50Kwの太陽光パネルを設置した為、年間140,000kwhの発電が可能になります。

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