AIR
AIR SUPPLY unit
循環Air(CH1)
風量 : 9㎥/min
設定温度: 17℃～29℃
温度精度: 設定温度±0.2℃
供給CDA(CH2)
流量 : 165L/min
設定温度: 16℃～30℃
温度精度: 設定温度±0.2℃
CHAMBER unit 1
循環Air
風量 : 55㎥/min
設定温度: 19℃～25℃
温度精度: 設定温度±1.0℃
CHAMBER unit 2
循環Air
風量 : 22㎥/min
設定温度: 19℃～25℃
温度精度: 設定温度±0.1℃
CHAMBER unit 3
循環Air(CH1)
風量 : 140㎥/min
設定温度: 21℃～25℃
温度精度: 設定温度±0.1℃
循環Air(CH2)
風量 : 50㎥/min
設定温度: 21℃～25℃
温度精度: 設定温度±0.1℃
循環液(CH3)...市水
流量 : 50L/min
設定温度: 21℃～25℃
温度精度: 設定温度±0.1℃
冷却能力: 2kW
CHAMBER unit 4
循環Air(CH2)
風量 : 185㎥/min
設定温度: 20℃～25℃
温度精度: 設定温度±0.1℃
CHAMBER unit 5
循環Air(CH2)
風量 : 175㎥/min
設定温度: 22℃～24℃
温度精度: 設定温度±0.02℃
循環Air(CH2)
風量 : 75㎥/min
設定温度: 22℃～24℃
温度精度: 設定温度±0.02℃